جزئیات محصول
FIB-SEM سری Crossbeam ZEISS ترکیبی از عملکرد تصویربرداری و تجزیه و تحلیل عالی میکروسکوپ الکترونی پرتاب میدان (FE-SEM) و عملکرد عالی پردازش نسل جدید پرتو یون متمرکز (FIB) است. چه در آزمایشگاه های علمی و چه در آزمایشگاه های صنعتی، شما می توانید چند کاربر همزمان را در یک دستگاه انجام دهید. به لطف مفهوم طراحی پلتفرم ماژولار سری Crossbeam ZEISS، شما می توانید سیستم ابزار خود را در هر زمان با توجه به تغییرات نیازهای خود ارتقاء دهید. در هنگام پردازش، تصویربرداری یا تجزیه و تحلیل بازسازی سه بعدی، سری Crosssbeam به طور قابل توجهی تجربه برنامه شما را بهبود می بخشد.
با استفاده از سیستم نوری الکترونیکی Gemini، شما می توانید اطلاعات نمونه واقعی را از تصاویر SEM با وضوح بالا استخراج کنید
با استفاده از آینه جدید Ion-sculptor FIB و روش جدید برای پردازش نمونه، می توانید کیفیت نمونه را به حداکثر برسانید، آسیب نمونه را کاهش دهید و در عین حال فرایند آزمایشی را به طور قابل توجهی تسریع کنید.
با استفاده از ویژگی ولتاژ پایین Ion-sculptor FIB، شما می توانید نمونه های TEM فوق العاده نازک را آماده کنید و در عین حال آسیب های غیر کریستالی را به حد بسیار پایین کاهش دهید.
قابلیت تغییر فشار هوا با Crossbeam 340
یا با استفاده از Crossbeam 550 برای مشخصات سخت تر، انبار بزرگ حتی گزینه های بیشتری را برای شما فراهم می کند
فرآیند آماده سازی نمونه EM
مراحل زیر را دنبال کنید تا نمونه سازی با کیفیت بالا و کارایی بالا انجام شود.
Crossbeam مجموعه ای از راه حل هایی را برای آماده سازی نمونه های TEM بسیار نازک و با کیفیت بالا ارائه می دهد که شما می توانید نمونه ها را به طور موثر آماده کنید و تجزیه و تحلیل الگوهای تصویربرداری انتقال را در TEM یا STEM اجرا کنید.
موقعیت خودکار – به راحتی در مناطق مورد علاقه (ROI) حرکت کنید
مناطق مورد علاقه (ROI) را پیدا کنید
موقعیت نمونه با استفاده از دوربین ناوبری اتاق تبادل نمونه
رابط کاربری یکپارچه به شما اجازه می دهد تا به راحتی به ROI
تصویر گسترده و بدون تحریف در SEM
2- نمونه سازی خودکار - آماده سازی نمونه های نازک از مواد بدن شروع می شود
شما می توانید یک نمونه را با سه مرحله ساده آماده کنید: ASP (آماده سازی خودکار نمونه)
پارامترهای تعریف شامل اصلاح دریفت، رسوب سطحی و برش خشن و ظریف
سیستم نوری یونی آینه FIB جریان کار بسیار بالایی را تضمین می کند
صادرات پارامترها به عنوان یک کپی، و سپس امکان تکرار عملیات برای آماده سازی دسته ای
3. انتقال آسان - برش نمونه، مکانیزه انتقال
وارد کردن دستگاه های رباتیک، جوشکاری نمونه های نازک روی سوزن دستگاه های رباتیک
برش نمونه نازک از بخش متصل به ماتریس نمونه برای جداسازی آن
سپس صفحات نازک استخراج می شوند و به دروازه TEM منتقل می شوند.
کاهش نمونه - یک گام مهم برای دریافت نمونه های TEM با کیفیت بالا
این ابزار به کاربر اجازه می دهد تا ضخامت نمونه را در زمان واقعی نظارت کند و در نهایت به ضخامت مورد نیاز برسد.
شما می توانید ضخامت ورق را با جمع آوری سیگنال از دو آشکارساز به طور همزمان تعیین کنید، از یک طرف ضخامت نهایی را با تکرار بالا از طریق آشکارساز SE بدست آورید و از طرف دیگر کیفیت سطح را از طریق آشکارساز Inlens SE کنترل کنید.
آماده نمونه با کیفیت بالا و کاهش آسیب غیر کریستالی به نقطه ای قابل نادیده گرفتن
| طراحی سایز Crossbeam 340 | گوشی Crossbeam 550 | |
|---|---|---|
| اسکن سیستم پرتو الکترونی | جیمینی من معاون رئیس جمهور 镜筒 - |
آینه های Gemini II گزینه های Tandem Decel |
| اندازه و رابط مخزن نمونه | انبار نمونه استاندارد دارای 18 رابط گسترش | انبار نمونه استاندارد دارای 18 رابط گسترش یا انبار نمونه بزرگ دارای 22 رابط گسترش است. |
| نمونه | مسیر X/Y 100 میلی متر | مسیر X / Y: مخزن نمونه استاندارد 100 میلی متر به علاوه مخزن نمونه 153 میلی متر |
| کنترل شارژ |
اسلحه الکترونیکی معتدل کننده های محلی فشار هوا متغیر |
اسلحه الکترونیکی معتدل کننده های محلی
|
| گزینههای اختیاری |
آشکارسازهای Inlens Duo برای دریافت تصاویر SE/ESB آشکارساز VPSE |
Inlens SE و Inlens EsB همزمان برای تصویربرداری SE و ESB اتاق پیش خلاء بزرگ با قابلیت انتقال کریستال های 8 اینچی توجه داشته باشید که افزایش انبار نمونه می تواند به طور همزمان 3 لوازم جانبی با حرکت هوای فشرده نصب شود. برای مثال STEM، آشکارسازهای پراکندگی پشتی 4 تقسیم شده و خنثی کننده های بارگذاری محلی |
| ویژگی ها | به دلیل استفاده از حالت فشار هوا متغیر، در نتیجه طیف گسترده تری از سازگاری نمونه، برای انواع آزمایش در محل، می تواند تصاویر SE / EsB را به ترتیب بدست آورد. | تجزیه و تحلیل و تصویربرداری کارآمد برای حفظ وضوح بالا در شرایط مختلف همزمان با دریافت تصاویر Inlens SE و Inlens ESB |
| الکترون دوگانه SE، الکترون پراکنده انرژی ESB |
