نوع جدید Pura Plus برای آخرین تغییرات در نیازهای صنعت ویفر در مورد اندازه و شاخص های تجهیزات طراحی شده است. Pura Plus یک انتقال دهنده آنلاین رطوبت ریز است که در کارخانه نیمه هادی در انتهای تامین گاز به خط تولید نصب شده است و برای نظارت بر کاربرد گازهای بی عمل فوق خالص استفاده می شود. توزیع سیستم های گاز در داخل کارخانه پیچیده است و شامل شاخه های زیادی، گره ها و نقاط استفاده است. بنابراین پس از نقاط نظارت رطوبت معمولی، به دلیل نشت کمی، طراحی سیستم ناکارآمد، خرابی اجزای یا خطای فرآیند، منجر به نفوذ رطوبت می شود و بر استفاده پایین جریان تأثیر می گذارد. Pura Plus که در سیستم توزیع نصب شده است، دستورالعمل های پاسخ سریع را در سطح رطوبت 20 ppb ارائه می دهد. زمان پاسخ 1 ppb کمتر از 1 دقیقه است. برجسته کردن پاسخ سریع به تغییرات رطوبت در سطح ppb حساسیت کم رطوبت ppb (<1 ppb) مفهوم جدید نصب چند نقطه اندازه گیری نیاز به نگهداری پایین نشانگر وضعیت چراغ سیگنال تنظیم هشدار و هشدار سازگاری با شبکه Modbus نرم افزار چند کانال برای رابط کنترل از راه دور تشخیص خطوط لوله گاز فوق خالص (UHP)
شاخص های فنی
سرعت پاسخ <1 دقیقه 20 ppb تغییرات رطوبت 1 ppb زمان پاسخ اندازه گیری رطوبت 1 ppb تا 20000 ppm محدوده فشار 0 تا 10 بار درجه مقاومت فشار 300 بار تست نشت 0-9 mbar لیتر / ثانیه دامنه جریان کار 1 ~ 10 لیتر / دقیقه دمای کار 5 ~ 40 درجه سانتیگراد دمای ذخیره سازی 30 تا 70 درجه سانتیگراد منبع برق 20 ~ 28 ولت DC مصرف انرژی 5W حداکثر درجه بیمه خارجی 500 mA ذوب سریع خروجی داده ها Modbus ASCII دو سیم RS485 خروجی هشدار و هشدار 2 جاده حداکثر ولتاژ 40 ولت DC حداکثر جریان 100 میلی آمپر مواد در تماس با گاز مواد محفظه فولاد ضد زنگ AISI 316L، پولیش الکتریکی سطح داخلی <10 Ra ساختار سنسور الکترولیت اکسید آلومینیوم، حفاظت از پوشش طلایی بالا، پوشش آلومینیوم پایین حجم داخلی 4.4 سانتی متر ³ وزن 450 گرم رابط هوایی 1/4 متر VCR رابط الکتریکی رابط 9-Pin D-Type M سازگاری الکترومغناطیسی EN50081-2 و EN50082-2