در حال حاضر، دستگاه های حمل و نقل ویفر سری AWL دارای دو مدل AWL046 و AWL068 هستند که می توانند برای تشخیص ویفر 4/6 اینچی، تشخیص ویفر 6/8 اینچی، دامنه گسترده ای از انطباق و انعطاف پذیری، حالت بازرسی قابل تنظیم آزاد، کاملا مطابق با طراحی مهندسی انسان و ماشین، عملیات راحت و ساده است.

سری AWLمزایای سیستم بازرسی ویفر

بازرسی ماکرو 360 درجه

سیستم بازرسی ویفر سری AWL دارای بازوی بازرسی ماکرو است که می تواند چرخش 360 درجه بازرسی ماکرو کریستال و بازرسی ماکرو پشت کریستال 1 را انجام دهد تا زخم ها و گرد و غبار را آسان تر پیدا کند. از طریق عصا عملیاتی می توان به طور تصادفی شیب ویفر را مشاهده کرد. زاویه شیب کریستال ≤70 درجه، زاویه شیب کریستال پشت 1 ≤90 درجه، زاویه شیب کریستال پشت 2 ≤160 درجه، با استفاده از عملکرد چرخش، زاویه شیب، کاملا می تواند بصری بررسی کل وافر مثبت و مخالف و لبه.

• مهندسی انسان و ماشین

صفحه نمایش LCD سیستم بازرسی ویفر می تواند تجربه بصری بصری بیشتری را برای اپراتور فراهم کند، می تواند به وضوح آیتم های بازرسی فعلی و ترتیب را نشان دهد، پارامترهای اشکال یابی در یک نگاه روشن است.

دستی سریع آزاد کردن سیستم بازرسی ویفر می تواند راحتی و بهره وری کاربری را افزایش دهد.

موردهای کاربردی بررسی نقص های ویفر

سری AWLمشخصات فنی سیستم بازرسی ویفر