ویژگی های اصلی سیستم بازرسی ویفر اولمبوس 12 اینچی:

• انتقال محکم، قابل اعتماد و ایمن

سیستم بازرسی ویفر اولمپاس 12 اینچی استحکام، قابلیت اطمینان و ایمنی نسل قبلی را ادامه می دهد و می تواند ویفر 300 میلیمتری را با ایمنی و اطمینان حمل کند و ویفر نازک و وارپد را نیز می تواند با ایمنی حمل کند.

طراحی مهندسی انسان و ماشین، عملیات آسان

سیستم بازرسی ویفر 12 اینچی اولمبوس می تواند حالت بازرسی را آزادانه تنظیم کند، در طراحی عملیات در مهندسی عقب را در نظر بگیرد، به ویژه به سادگی عملیات تجهیزات توجه می کند. به ترتیب، دو نوع دستگاه FOUP (Load Port) و FOSB وجود دارد.

بهینه سازی موقعیت و ترتیب متمرکز واحدهای عملیاتی سیستم بازرسی ویفر 12 اینچی اولمبوس عملکرد تجهیزات را بهبود می بخشد.

مشخصات فنی سیستم بررسی وافر خودکار 300 میلی متر AL120-12